icon semicon_2014-出展者 [SEMICON Japan 2014] 高精度表面形状測定システム「Dyvoce」 - 神津精機株式会社 2014/12/03 2019/05/08 神津精機株式会社はSEMICON Japan 2014にて、高精度表面形状測定システム「Dyvoce」を出展。 ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価ができ、ウエハに合わせてステージサイズがカスタマイズ対応可能な測定 […]...
icon semicon_2014-出展者 [SEMICON Japan 2014] 省エネ精密空調機「PAP SERIES」 - オリオン機械株式会社 2014/12/03 2019/05/08 オリオン機械株式会社はSEMICON Japan 2014にて、省エネ精密空調機「PAP SERIES」を出展。 局所精密空調に向けた高レベルな温湿度・クリーン環境を作る精密空調機を紹介。 Website:http:// […]...
icon semicon_2014-出展者 [SEMICON Japan 2014] シャトル搬送システム - 株式会社レクザム 2014/12/03 2019/05/08 株式会社レクザムはSEMICON Japan 2014にて、シャトル搬送システムを出展。 シャトル装置とリニアロボットを利用した、縦方向に多段設置が可能なウエハ搬送システムを紹介。 Website:http://www. […]...
icon semicon_2014-出展者 [SEMICON Japan 2014] ハイブリッドレーザーマイクロスコープ「OPTELICS HYBRID」 - レーザーテック株式会社 2014/12/03 2019/05/08 レーザーテック株式会社はSEMICON Japan 2014にて、ハイブリッドレーザーマイクロスコープ「OPTELICS HYBRID」を出展。 高精度3D測定や、一般的なレーザー顕微鏡と比べ、約1.6倍の広視野で観察で […]...